ջեռուցման mocvd ռեակտորը ինդուկցիայի միջոցով
Մետաօրգանական քիմիական գոլորշիների նստեցման (MOCVD) ռեակտորների ինդուկցիոն ջեռուցման տեխնոլոգիա է, որն ուղղված է ջեռուցման արդյունավետության բարձրացմանը և գազի մուտքի հետ վնասակար մագնիսական միացման նվազեցմանը: Սովորական ինդուկցիոն-ջեռուցման MOCVD ռեակտորները հաճախ ունեն ինդուկցիոն կծիկ, որը գտնվում է խցիկից դուրս, ինչը կարող է հանգեցնել ավելի քիչ արդյունավետ ջեռուցման և գազի մատակարարման համակարգի հնարավոր մագնիսական միջամտության: Վերջին… Կարդալ ավելին
